SEM用クライオ装置 PP3000T  生産中止

 液体を含む試料や電子ビームダメージを受けやすい試料を凍結させSEM観察を行う装置です。
精密なガス流量調整機能やCryo-SEMに最も必要な温度コントロール機能を重要視した設計が
なされています。試料をより自然の状態に保ちSEM観察を行うPP3000T装置は動植物、医療、
食材、ポリマー、塗装、温度上昇に敏感な半導体材料などの測定に活用されています。


     SEM用クライオ装置 PP2000T  生産中止

 液体や電子ビームのダメージを受けやすいサンプルをSEMを用いて観察する場合には、
あらかじめ冷凍処理を行った上での観察が一般的に行われています。
このシステムは試料を数分間で急速冷却を行い、より自然な姿で容易に観察することが出来ます。
 サンプルは真空引きをしながら急速冷却を行った後、導入チャンバーへ移動、搬送ロッドにてSEM観察室へと運ばれます。
導入チャンバーはロータリポンプ仕様のPP2000とターボポンプ仕様のPP2000Tの2つのタイプから選択が可能です。
動植物、医療製品、食品、樹脂、ポリマー、化粧品、セメント、液体、洗剤など幅広いアプリケーションに対応致します。


     簡易型 Cryo-SEM装置 K1250  生産中止

K1250Xはコンパクトな筐体でありながら、試料の真空排気から急速冷却機構、
冷却破断機構、スパッタコーティングまでを単独で行うCryo-SEM 装置です。
真空排気はターボ分子ポンプを採用しています。
熱伝導を利用し、SEM ステージ及びコールドトラップを液体窒素で冷却することができます。


     ペルチェ冷却アタッチメント K25X  生産中止

 K25Xペルチェ冷却ステージアタッチメントはVP/EP 及びESEM など、既存のSEM 試料ステージに
簡単に取り付けることができ、普段お使いになられている標準スタブを冷却することが可能です。
周囲温度に影響されるような場合やビームダメージなどが懸念されるときなどにお勧めいたします。
 冷却ステージは本体を2次冷却として冷却水を使用し、予備のアクセスポートを経由して
試料ステージの熱交換をしますので、SEM チェンバー内の真空は問題なく保持されます。
ステージの稼働はXYZ 軸及び傾き方向などの動きに対してスムーズに対応いたします。
コントロールユニットはコンパクトな筐体で優れた温度制御を行います。
多くの構成部品は標準仕様となっていますので、冷却ステージを取り外す際には簡単
に通常の状態へ復帰することが可能です。