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    電子顕微鏡関連製品

K575XD型 高性能ターボスパッタコーター


K575XDターボスパッタコーターは、ターボポンプとロータリーポンプの2つの排気系を組み合わせ、完全連続排気を自動制御下で行われます。迅速なターゲット交換機構付きの2つ(標準:Cr、Auの組み合わせ)の54mm径マグネトロンターゲットアッセンブリーを採用しております。スパッタパラメーターは、電磁弁付きニードルバルブのガス供給を含め、事前設定が可能となっています。スパッタヘッドは高性能で微細なコーティングを行う為に、冷却水の不要なペルティエ冷却機構を備えております。真空排気は、CrまたはAuのターゲット材に適した条件に調整をする事が可能で、スパッタリング時間を制御する為のタイマーが付属されています。


SC7620 簡易型SEM用ミニスパッタコーター


SC7620型はコンパクトデザインの簡易型SEM用スパッタコーターです。ご予算を抑えながら、要求するレベルを簡単な操作で得られるように設計されております。日常的な仕事に対応するべく設計されたSC7620は100mm径のガラスチャンバーと容易に交換可能なディスク状コーティング材(標準:金またはパラジウム)付きのマグネトロンスパッターヘッドから構成されています。またマグネトロンスパッタヘッドは、操作が容易に行える蝶番式を採用しており、ガラスチャンバーに接続され、電気的な安全インターロック機構を備えております。

K1050X RF プラズマバレルリアクター


K1050X RF電源付きプラズマバレルリアクターは研究開発や小規模生産など広範囲なプラズマエッチング、アッシング、クリーニングアップリケーションに対応可能な装置で、RF電源ユニット(0から100W)、チューニング回路、デュアルプロセスガス流量計、真空ベント機能を標準で備えています。
 処理チャンバーは円筒形で、試料の出し入れはスライドシステム採用で大変便利です。 チャンバーの真空排気はロータリーポンプか、オプションのダイヤフラムポンプ付きターボポンプが選択可能です。


PP2000T 高性能Cryo SEM装置 


液体や電子ビームのダメージを受けやすいサンプルをSEMを用いて観察する場合には、あらかじめ冷凍処理を行った上での観察が一般的に行われています。このシステムは試料を数分間で急速冷却を行い、より自然な姿で容易に観察することが出来ます。サンプルは真空引きをしながら急速冷却を行った後、導入チャンバーへ移動、搬送ロッドにてSEM観察室へと運ばれます。導入チャンバーはロータリポンプ仕様のPP2000とターボポンプ仕様のPP2000Tの2つのタイプから選択が可能です。動植物、医療製品、食品、樹脂、ポリマー、化粧品、セメント、液体、洗剤など幅広いアプリケーションに対応致します。


ピコアンペアメーター
 

電池駆動でサンプル吸収電流を測定します。そのため測定結果の
再現性が良好です。 1pAから2μAを5レンジで5%以内の誤差で表示できます。
長時間のオーバーロードでも壊れません。


H2850 排気装置付き電子レンジ


マイクロウェーブ組織処理のパイオニアである米国EBサイエンス社から多くのユーザー・フィードバックを受けて
次世代マイクロウェーブプロセッサが完成致しました。長年の開発による先例のない柔軟性、機能性、きめ細やかな温度精度、各種安全機能、真空排気、各種ガス導入、攪拌機構などを兼ね備え、幅広いニーズにお応え致します。
    
    表面分析関連製品


完全自動化X線光電子分光装置 K−Alpha


●完全自動測定
  サンプルを導入した後は、予備排気、測定、解析、報告書作成まで自動化
●自動帯電中和
  帯電中和を自動で最適化
●高性能
  新開発マイクロフォーカス型モノクロX線源を標準搭載
  感度、分解能、微少領域、マッピングなどいずれも高性能


角度分解型微少領域X線電子分光装置 Theta Probe


●XPS解析装置唯一の同時角度分解機能
●高性能マイクロスポットモノクロメーターX線源
●高精度CCDカメラによるサンプル観察
●Windows XPベースのデーターシステム
●オプション選択によるUPS、AESなどの複合分析構成が可能


高性能X線光電子分光装置 ESCALAB250


●パラレルイメージング機能
  ・XPSイメージング分解能<3μm
  ・高精度な試料位置合わせ
●専用XLレンズ採用
●ツインクリスタルモノクロメーターX線源
●Windows XPベースのデーターシステム
●オプション選択によるUPS、AESなどの複合分析構成が可能
    

高性能マルチチャンネルアナライザー Alpha110


●180°半球型アナライザー
●7チャンネルトロンシステム
●多機能レンズシステム
●マルチテクニック(XPS,UPS,AES,ISS)
●Windows XPベースのデーターシステム
 
    真空機器関連製品


RVシリーズ ロータリーポンプ


種類が豊富で頑丈なRVポンプは、良好な排気速度で卓越した到達真空度を実現します。 また非常に静かな動作で優れた水蒸気の排気処理能力をも発揮致します。


EXTシリーズ ターボモレキュラーポンプ


モノブロックローターとハイブリッドベアリング機構を採用した科学分野向けの高性能ターボ分子ポンプです。
  


  XMD-300 X線回折装置


卓上型X線回折装置
50Wの低出力で低ダメージ、迅速処理、冷却装置のいらない空冷式X線線原
移動可能な卓上型のコンパクトデザイン。 ユニークなポリキャピラリーオプティクス
簡単で使い易いオペレーションソフトウェア、ハードウェア



  XMF-104 エネルギー分散型X線スペクトロスペクトロメーター


コンパクトな卓上型、ポリキャピラリーオプティクスでの迅速測定
高輝度X線源を用いたマイクロスポット照射、


  Helios S2 マイクロフォーカス 高輝度 X-線

コンパクトで高輝度なマイクロフォーカスX線ソース
  


  その他、数多くの製品を取り揃えております。
   詳細につきましてはメールにて資料請求またはお問い合わせ下さい。

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