エルミネット株式会社：製品情報

　　　　電子顕微鏡関連製品

　ターボ・スパッターコーター Q150T Series　　

FE-SEMアプリケーションに適した高性能超微細コーティングシステムです。高真空排気に
７０ℓ/ｓ空冷ターボポンプを搭載し、すべてのコンポーネントを頑丈なモールドケースの
中に納めました。自動流量調整器により選択可能な最適コーティング環境を作り出します。
コーティング後の真空保持機能、膜厚計による膜厚制御が可能です。交換可能なヘッド部を
お選びいただくことで、スパッターコーティング、カーボンおよびメタルエバポレーションが行えます。

　ターボ・スパッターコーター Q300 T_D Series　　

Q150シリーズの大型チャンバータイプができました。チャンバーサイズは300mmφ x 127mm Hで,
6インチサイズのウェーハーサイズに対応。バキュームシャットダウン機能で装置を使用しない場合
にもチャンバー内部を真空保持できます。
●カラー液晶パネルからタッチスクリーン操作で高品質薄膜コーティングが誰でも簡単にできます。
●過去100回のコーティングログからコーティングサマリーが表示できます。
●オプションの水晶振動子タイプデュアル膜厚計で自動膜厚制御が可能です。
●オプションで非常停止スイッチを組み込み可能。
●オプションで高さ214mmロングチャンバーを用意、大型の試料やターゲットとサンプル間の
　　　距離を長くしたい場合に使用します。

　ターボ・スパッターコーター Q300 T_T Series　　

Q300シリーズのトリプルターゲットタイプです。チャンバーサイズは300mmφ x 127mm Hで,
6インチサイズのウェーハーサイズに対応。バキュームシャットダウン機能で装置を使用しない場合
にもチャンバー内部を真空保持できます。
●カラー液晶パネルからタッチスクリーン操作で高品質薄膜コーティングが誰でも簡単にできます。
●過去100回のコーティングログからコーティングサマリーが表示できます。
●オプションの水晶振動子タイプデュアル膜厚計で自動膜厚制御が可能です。
●オプションで非常停止スイッチを組み込み可能。
●オプションで高さ214mmロングチャンバーを用意、大型の試料やターゲットとサンプル間の
　　　距離を長くしたい場合に使用します。

　高性能Cryo-SEM装置 PP3000T　　

液体を含む試料や電子ビームダメージを受けやすい試料を凍結させSEM観察を行う装置です。
精密なガス流量調整機能やCryo-SEMに最も必要な温度コントロール機能を重要視した設計が
なされています。試料をより自然の状態に保ちSEM観察を行うPP3000T装置は動植物、医療、
食材、ポリマー、塗装、温度上昇に敏感な半導体材料などの測定に活用されています。

　ＳＥＭＰｉｃｏＩｎｄｅｎｔｅｒＰ１８５　　

ＳＥＭ装置内でナノメカニカル試験の直接観察を可能にした、世界初の完全独立型深さ
センシングインデンター装置です。試料の変形や破壊といった機械特性の過程の測定が行えます。
この画期的な能力によりナノインデンテーション中のマイクロストラクチャーのより進化した研究を
可能にします。

　電子検出器Ｇｅｎｅｒａｔｉｏｎ５　　

ＳＴＥＭ検出器：明視野、暗視野イメージ表示
ＢＳＤ検出器：優れた解像度０.１Ｚ（Ｚ＝３０にて）　４分割検出器
　　　　　　　　　ブロードバンドＴＶオペレーション、低ノイズスロースキャン
　　　　　　　　　　

　マグネティックフィールドキャンセリングシステム 　

電子線を使用する装置周辺を安定した磁場環境に保つアクティブ磁場キャンセリング装置です。
● 磁場のモニターおよび磁場キャンセリング
● ローコスト、ハイパフォーマンス
● 自動化されたオートキャンセリング条件設定
● ルームケーブルまたはヘルムホルツケーブルで磁場をキャンセルします。
● オプションのソフトウェアで遠隔操作が可能。

　クリスタル・コールドカソードコンビネーションゲージ　ＣＣ-１０　　

ＣＣ-１０は、最新のセンサー技術を取り入れ、１２桁の圧力範囲(１.０ x １０^-7 Pa～１.０x１０⁵ Pa)の
連続測定を可能としたコンビネーションゲージです。
大気圧から１Paまではクリスタルゲージ、１Paから10^-7Paまではコールドカソードゲージを使用し
測定します。センサー、回路部、ディスプレイ一体型により、本製品のみで圧力表示、
セットポイントによるシステム制御が行えます。また、ＣＣ-１０はデジタル通信RS４８５を
標準装備し、欧州規格EN(CE)に対応しております。
ＣＣ-１０はＲｏＨＳ規格に準拠した環境にやさしい製品です。

　 K575XD型　高性能ターボスパッタコーター

K575XDターボスパッタコーターは、ターボポンプとロータリーポンプの２つの排気系を組み合わせ、
完全連続排気を自動制御下で行われます。迅速なターゲット交換機構付きの２つ（標準：Cr、Auの
組み合わせ）の５４mm径マグネトロンターゲットアッセンブリーを採用しております。
スパッタパラメーターは、電磁弁付きニードルバルブのガス供給を含め、事前設定が可能となって
います。スパッタヘッドは高性能で微細なコーティングを行う為に、冷却水の不要なペルティエ
冷却機構を備えております。真空排気は、CrまたはAuのターゲット材に適した条件に調整をする
事が可能で、スパッタリング時間を制御する為のタイマーが付属されています。

　SC7620　簡易型SEM用ミニスパッタコーター　　　　

　

SC７６２０型はコンパクトデザインの簡易型SEM用スパッタコーターです。ご予算を抑えながら、
要求するレベルを簡単な操作で得られるように設計されております。日常的な仕事に対応するべく
設計されたSC７６２０は１００mm径のガラスチャンバーと容易に交換可能なディスク状コーティング材
（標準：金またはパラジウム）付きのマグネトロンスパッターヘッドから構成されています。また
マグネトロンスパッタヘッドは、操作が容易に行える蝶番式を採用しており、ガラスチャンバーに
接続され、電気的な安全インターロック機構を備えております。

　K1050X　RF プラズマバレルリアクター　　

K1050X RF電源付きプラズマバレルリアクターは研究開発や小規模生産など広範囲な
プラズマエッチング、アッシング、クリーニングアプリケーションに対応可能な装置で、
RF電源ユニット（０から１００W）、チューニング回路、デュアルプロセスガス流量計、
真空ベント機能を標準で備えています。　処理チャンバーは円筒形で、試料の出し入れは
スライドシステム採用で大変便利です。チャンバーの真空排気はロータリーポンプか、
オプションのダイヤフラムポンプ付きターボポンプが選択可能です。

　Omni社グリッド/サンプルホルダー　　

Omniprobe社のグリッド及びサンプルホルダーを格安にてご用意いたしました。

　ガスインジェクションシステム　OmniGIS　　

OmniGISは、FIB装置、電子顕微鏡や真空装置用の最新ガスインジェクションシステムです。
主なアプリケーション：真空装置内でのALDアプリケーション、SAMSアプリケーション、
ガス導入による表面状態観察、Ptデポジション、Ｗデポジション、ＳｉO２デポジション、
Ｃデポジション、ナノリソグラフィーなど。

　ピコアンペアメーター　　

● 電池駆動式でサンプル吸収電流を測定します。そのため測定結果の再現性が良好です。　
● １pAから２μAを５レンジ　誤差±２～５%(f.s.)で３.５桁表示
● 自動０点調整　(残差 : ２５℃にて５pA以内)
● １００μA以上の過電流にも耐える入力設計
● ＢＮＣケーブル,ファラデーカップ付属
　　サイズ : １３０mm(W) × ７０mm(H) × １１５mm(D)
　　内臓電池 : 単３アルカリ電池４本 (電池寿命：１０．０００時間)

　H2850　排気装置付き電子レンジ　　

マイクロウェーブ組織処理のパイオニアである米国EBサイエンス社から多くのユーザー・
フィードバックを受けて次世代マイクロウェーブプロセッサが完成致しました。
長年の開発による先例のない柔軟性、機能性、きめ細やかな温度精度、各種安全機能、
真空排気、各種ガス導入、攪拌機構などを兼ね備え、幅広いニーズにお応え致します。

　　　　
　　　　表面分析関連製品

　完全自動化Ｘ線光電子分光装置　Ｋ－Ａｌｐｈａ

●完全自動測定
　　サンプルを導入した後は、予備排気、測定、解析、報告書作成まで自動化
●自動帯電中和
　　帯電中和を自動で最適化
●高性能
　　新開発マイクロフォーカス型モノクロＸ線源を標準搭載
　　感度、分解能、微少領域、マッピングなどいずれも高性能

　角度分解型微少領域Ｘ線電子分光装置　Ｔｈｅｔａ　Ｐｒｏｂｅ

●ＸＰＳ解析装置唯一の同時角度分解機能
●高性能マイクロスポットモノクロメーターＸ線源
●高精度ＣＣＤカメラによるサンプル観察
●Ｗｉｎｄｏｗｓ　ＸＰベースのデーターシステム
●オプション選択によるＵＰＳ、ＡＥＳなどの複合分析構成が可能

　 高性能Ｘ線光電子分光装置　ＥＳＣＡＬＡＢ２５０

●パラレルイメージング機能
　　・ＸＰＳイメージング分解能＜３μｍ
　　・高精度な試料位置合わせ
●専用ＸＬレンズ採用
●ツインクリスタルモノクロメーターＸ線源
●Ｗｉｎｄｏｗｓ　ＸＰベースのデーターシステム
●オプション選択によるＵＰＳ、ＡＥＳなどの複合分析構成が可能

　高性能マルチチャンネルアナライザー　Ａｌｐｈａ１１０

●１８０°半球型アナライザー
●７チャンネルトロンシステム
●多機能レンズシステム
●マルチテクニック（ＸＰＳ，ＵＰＳ，ＡＥＳ，ＩＳＳ）
●Ｗｉｎｄｏｗｓ　ＸＰベースのデーターシステム

　
　　　　真空機器関連製品

　ＲＶシリーズ　ロータリーポンプ

種類が豊富で頑丈なＲＶポンプは、良好な排気速度で卓越した到達真空度を実現します。　
また非常に静かな動作で優れた水蒸気の排気処理能力をも発揮致します。

　ＥＸＴシリーズ　ターボモレキュラーポンプ

モノブロックローターとハイブリッドベアリング機構を採用した科学分野向けの高性能ターボ分子ポンプです。
　　

　　　その他の製品

　　XMD-300 X線回折装置

卓上型X線回折装置
50Wの低出力で低ダメージ、迅速処理、冷却装置のいらない空冷式X線線原
移動可能な卓上型のコンパクトデザイン。　ユニークなポリキャピラリーオプティクス
簡単で使い易いオペレーションソフトウェア、ハードウェア

　　XMF-104 エネルギー分散型X線スペクトロスペクトロメーター

コンパクトな卓上型、ポリキャピラリーオプティクスでの迅速測定
高輝度Ｘ線源を用いたマイクロスポット照射、

　　Helios S2 マイクロフォーカス高輝度 X-線

コンパクトで高輝度なマイクロフォーカスX線ソース
　　